用途

表面分析（元素同定、定量分析、定量マップ）

仕様・特徴

##### &bull; FE電子銃による高いX線空間分解能分析が可能 ##### &bull; 波長分解能の高いWDS（波長分散型分光器）による微量元素分析や低加速電圧での効率の良い元素分析 ##### &bull; 特定元素のピーク近傍のみ分析することで微量元素の検出が可能 ##### &bull; 最小0.02 μmステップによる任意方向の線分析や高精細なマッピングが可能 ##### 　 ##### &bull; 分析元素範囲：B ~ U ##### &bull; X線分光範囲：0.087 ～ 9.3 nm ##### &bull; X線分光器数：5基 ##### &bull; 加速電圧：1～30 kV（0.1 kVステップ） ##### &bull; 照射電流範囲：10^{<span style="font-size:60%">-12</span>} ～ 5×10^{<span style="font-size:60%">-7</span>} A ##### &bull; 二次電子分解能：3 nm（W.D. 11 mm, 30 kV） ##### &bull; 分析条件最小プローブ径：40 nm（10 kV, 1×10^{<span style="font-size:60%">-8</span>} A） ##### &emsp; 　　　　　　　　　　　100 nm（10 kV, 1×10^{<span style="font-size:60%">-7</span>} A）

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点A棟 107室

連絡先

機器担当：梅田（内線 9694）