機器名称
X線界面構造解析装置 (XRR)
メーカー・型番
株式会社リガク / SmartLab-nm
用途
X線反射率法による薄膜の厚さ、密度、粗さ評価
仕様・特徴
設置場所
オープンイノベーション施設 101実験室
連絡先
三重大学 研究基盤推進機構 先端科学研究支援センター 機器分析部門 TEL : 059-231-9682 e-mail : kikibun[at]opri.mie-u.ac.jp
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