機器名称

電子線マイクロアナライザ（多モードトポ解析システム/EPMA)

メーカー・型番

日本電子株式会社 / JXA-8530F

用途

表面分析（元素同定、定量分析、定量マップ）

仕様・特徴

• FE電子銃による高いX線空間分解能分析が可能
• 波長分解能の高いWDS（波長分散型分光器）による微量元素分析や低加速電圧での効率の良い元素分析
• 特定元素のピーク近傍のみ分析することで微量元素の検出が可能
• 最小0.02 μmステップによる任意方向の線分析や高精細なマッピングが可能

• 分析元素範囲：B~U
• X線分光範囲：0.087～9.3 nm
• X線分光器数：5基
• 加速電圧：1～30 kV（0.1 kVステップ）
• 照射電流範囲：10^-12～5×10^-7 A
• 二次電子分解能：3 nm（W.D. 11 mm, 30 kV）
• 分析条件最小プローブ径：40 nm（10 kV, 1×10^-8 A）
              100 nm（10 kV, 1×10^-7 A）

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点A棟 107室

連絡先

機器担当：梅田（内線 9694）