機器名称

X線界面構造解析装置（XRR）

メーカー・型番

株式会社リガク / SmartLab-nm

用途

X線反射率法による薄膜の厚さ、密度、粗さ評価

仕様・特徴

• 3 kW封入型Ｘ線管

• CBOユニット(平行ビーム法/集中法 光学系切替)

• 2結晶モノクロメータ Ge(220)x2 付属

• シンチレーションカウンタ

• 薄膜総合解析ソフトウェア GlobalFit

• ガイダンス機能搭載

設置場所

オープンイノベーション施設 101実験室

連絡先

三重大学 研究基盤推進機構 先端科学研究支援センター 機器分析部門
TEL : 059-231-9682
e-mail : kikibun[at]opri.mie-u.ac.jp