機器名称

光電子分光分析装置（ESCA）

メーカー・型番

株式会社島津製作所 / ESCA-3400

用途

サンプルにX線を照射し、生じる光電子のエネルギーを測定することで、サンプル表面の構成元素とその電子状態を分析する。アルゴンエッチングを併用することで深さ分析を行うこともできる。

仕様・特徴

• コニカル型X線銃にデュアルアノードを装備し、MgKα、AlKα線を用いた測定が可能
• 熱陰極型イオン銃（Arガス）により試料のエッチングが可能

• X線銃
形式：コニカル型
アノード：Mg, Alデュアルアノード
アノード電圧：0~12 kV
パワー：max 360 W（12 kV×30 mA）
• アナライザー形式：阻止電場型
• エネルギー走査範囲：-10～1150 eV(MgKα), -10～1400 eV(AlKα)
• エッチングイオン銃
形式：熱陰極型
使用ガス：Ar
加速電圧：0.5～2.0 kV(4段階)
エッチング速度：数Å～100 Å
• 試料サイズ：最大10 mmφ×厚さ5 mm

設置場所

オープンイノベーション施設 304実験室

連絡先

三重大学 研究基盤推進機構 先端科学研究支援センター 機器分析部門
TEL : 059-231-9682
e-mail : kikibun[at]opri.mie-u.ac.jp